光电联用：光学显微镜和电子显微镜数据关联分析
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光学显微镜: JOMESA HFD
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扫描电子显微镜和能谱仪: JOMESA PSE
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JOMESA PSE屏幕：显示光镜和电镜图片 |
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选择EDX分析区域 |
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SEM-EDX与LIBS：
带有LIBS选项的光学显微镜只能分析光学方法识别的颗粒（可见光下能见颗粒）。
SEM分析能够增加光学数据中看不到的颗粒信息（可见光下未探测到的颗粒）。
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SEM图像看起来与光学图像大不相同，可以显示很多信息 |
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光学图像 |
SEM图像 |
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有时光学方法无法识别关键颗粒（玻璃、研磨材料） |
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光学图像（玻璃纤维） |
SEM图像（玻璃纤维） |
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光镜(HFD)与电镜
(SEM)两种方法识别的颗粒计数不能进行比较。
这两种检测原理“看到”的颗粒是不同的。
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材料 |
光学检测 |
SEM检测 |
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有机 (纤维) |
好 |
差 |
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石墨 |
好 |
差 |
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氧化铝 |
差 |
非常好 |
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玻璃 |
不能识别 |
非常好 |
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盐类 |
差 |
非常好 |